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微波等離子化學氣相沉積系統-MPCVD
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微波等離子化學氣相沉積系統 -MPCVD
-----寶石級大尺寸單晶金剛石制備系統
微波等離子化學氣相沉積技術（MPCVD), 通過等離子增加前驅體的反應速率，降低反應溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結晶形態好的高質量硬質薄膜和晶體。
MPCVD 是世界公認的制備大尺寸單晶金剛石有效手段之一。德國 iplas 公司專利的 CYRANNUS ® 等離子技術解決了傳統等離子技術的局限，可以在 10mbar 到室壓范圍內激發高穩定度的等離子團，最大限度的減少了因氣流、氣壓、氣體成分、電壓等因素波動引起的等離子體狀態的變化，從而確保單晶生長的持續性，為合成大尺寸單晶金剛石提供有力保證。iplas CYRANNUS ® 系列 產品特點：1. CYRANNUS ® 技術無需在樣品腔內安裝內部電極，在沉積腔內，沒有工作氣體以外的任何物質，潔凈，無污染源。等離子發生器可以保持長壽命，并可以確保腔內的等離子體的均勻分布，進一步生成晶體的純凈度和生長周期。
2. CYRANNUS ® 技術的腔外多電極設置，確保等離子團穩定生成于腔內中心位置，對腔壁、窗口等無侵蝕作用，減少雜質來源，提高晶體純度。由 CYRANNUS ® 系統合成的金剛石，純度均在VVS級別以上。
3. 電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高，運載氣體保持合適的溫度，因此可使基底的溫度不會過高。
4. 微波發生器穩定易控，能在從10mbar到室壓的高壓強環境下維持等離 體，在氣流、氣壓、氣體成分、電壓出現波動時，確保等離子體狀態的穩定，保證單晶生長的過程不被上述干擾而中斷，有利于獲得大尺寸單晶金剛石。
5. 可以采用磁約束的方法，約束在等離子團在約定的空間內，微波結和磁路可以兼容。
6. 安全因素高。高壓源和等離子體發生器互相隔離，微波泄漏小，容易達到輻射安全標準。7.可搭配多種功率微波源和不同尺寸腔體，滿足從實驗室小型設備到工業大型裝置的不同需要。最大可以對300mm直徑的襯底沉積金剛石薄膜。
化學機理概要：
碳氫化合物：提供沉積材料
氫氣：生成sp 3鍵
氧：對石墨相/sp 2鍵侵蝕
惰性氣體：緩沖氣體，或生成納米晶體。
適用合成材料：
大尺寸寶石級單晶鉆石
高取向度金剛石晶體
納米結晶金剛石
碳納米管/類金剛石碳（DLC）
金剛石薄膜
寶石級鉆石vvs1,~1 carrat, E grade
多種等離子發生器選擇：頻率：2.45GHz, 915MHz:功率：1-2kW, 1-3kW, 3-6kW,1-6kW，5-30kW等離子團直徑：70mm, 145mm, 250mm, 400mm工作其他范圍：0-1000mBar
其他應用：MPCVD同樣適用于平面基體，或曲面顆粒的其它硬質材料如Al 2O3，c-BN的薄膜沉積和晶體合成。德國 iplas 公司憑借幾十年在等離子技術領域的積累，可以為用戶提供高度定制的設備，滿足用戶不同的應用需要。
