傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業(yè)供應(yīng)商 提供，但是在研發(fā)環(huán)境中，掩膜板的設(shè)計(jì)通常需要經(jīng)常改變。 無掩膜光刻技術(shù)通過以軟件設(shè)計(jì)電子掩膜板 的方法，克服了 這一問題。與通過物理掩膜板進(jìn)行光照的傳統(tǒng)工藝不同，激光 直寫是通過電腦控制一系列激光脈沖的開關(guān)，在光刻膠上直接 曝光繪出所要的圖案。

  Microwriter ML 3 是一款多功能激光直寫光刻系統(tǒng)，具有 結(jié)構(gòu)小巧緊湊(70cm X 70cm X 70cm)，無掩膜直寫系統(tǒng)的靈 活性，還擁有高直寫速度，高分辨率的特點(diǎn)。采用集成化設(shè) 計(jì)，全自動(dòng)控制，可靠性高，操作簡便。適用于各種實(shí)驗(yàn)室桌 面。

Focus Lock 自動(dòng)對焦功能

Focus lock 技術(shù)是利用自動(dòng)對焦功能對樣品表面高度進(jìn)行探測，并通過 Z 向調(diào)整和補(bǔ)償，以保證曝光分辨率。

光學(xué)輪廓儀

Microwriter ML3 配備光學(xué)輪廓探測工具，用于勻膠后沉積層，蝕刻層， MEMS 等前道結(jié)構(gòu)的形貌探測與套刻。 Z 向最高精度 100 nm ，方便快捷。

標(biāo)記物自動(dòng)識別

點(diǎn)擊“ Bulls-Eye” 按鈕， 系統(tǒng)自動(dòng)在 顯微鏡圖像中識別光刻 標(biāo)記。標(biāo)記 物被識別后，將 自動(dòng)將其移動(dòng) 到顯微鏡中心位置。

別直寫前預(yù)檢查

軟件可以實(shí)時(shí) 顯微觀測基體 表面，并顯示 預(yù)直寫圖形 位置。通過實(shí)時(shí)調(diào)整 位置、角度，直到設(shè)計(jì)圖形按要求與已有結(jié)構(gòu) 重合，保證直寫準(zhǔn)確。

簡單的直寫軟件

MicroWriter 由 一個(gè)簡單直觀的 Windows 界面軟件控制 。工具欄 會引導(dǎo)使用者進(jìn)行簡單的布局設(shè)計(jì)、基片對準(zhǔn)和曝光的基本操作。該軟件在 Windows10 系統(tǒng)下 運(yùn)行 。

Clewin 掩模圖形設(shè)計(jì) 軟件

• 可以讀取多種 圖形設(shè)計(jì) 文件（ DXF, CIF, GDSII, 等 ）

• 可以 直接 讀取 TIFF, BMP 等 圖片 格式

• 書寫范圍只由基片尺寸決定

直寫分辨率1μm

直寫分辨率0.6μm

  微電極制備

       光刻膠上的圖形                                 Au電極（SEM）                                   Au電極（SEM）

微結(jié)構(gòu)制備

微流通道制備