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Nano-FTIR 應(yīng)用案例8-基于同步輻射光源的研究

更新時(shí)間：2019/4/10點(diǎn)擊次數(shù)：1477次

基于同步輻射光源的納米傅里葉變換紅外光譜分析半導(dǎo)體材料

在近年的近場光學(xué)研究中使用的不同光源包括較窄波長范圍的連續(xù)可調(diào)的氣體激光光源，熱激發(fā)光源，量子級(jí)聯(lián)激光與同步輻射光源。然而，結(jié)合同步輻射光源與近場光學(xué)的光譜分析技術(shù)需要更多的實(shí)驗(yàn)研究。

相比一般普通熱激發(fā)光源，同步輻射光源可以提供覆蓋近紅外到遠(yuǎn)紅外波段的連續(xù)寬頻光譜，而且同步輻射光源具有非常好的光學(xué)偏振性與亮度。

P.Hermann 等人將 Neaspec 公司的納米傅里葉紅外光譜系統(tǒng) ( Nano-FTIR) 與同步輻射光源相結(jié)合，對(duì)常見的半導(dǎo)體器件與薄膜材料包括碳化硅、二氧化硅、二氧化鈦與氮化硅進(jìn)行了紅外吸收光譜的研究。結(jié)果表明，使用同步輻射光源也能對(duì)半導(dǎo)體材料化學(xué)結(jié)構(gòu)進(jìn)行準(zhǔn)確的分析，而且可以獲得納米尺度的超高分辨率。

該實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，使用超寬頻率的同步輻射光源也可以進(jìn)行近場光學(xué)的研究。而且同步輻射的近場光學(xué)實(shí)驗(yàn)結(jié)果也可以達(dá)到可與原子力顯微鏡相比較的超高分辨率。

參考文獻(xiàn)：

P. Hermann;et. al. Characterization of semiconductor materials using synchrotron radiation-based near-field infrared microscopy and nano-FTIR spectroscopy. Optics Express 2014 , 22 , 17948-17958.